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            产品中心
            专注于先进光电技术应用,为光通信、工业与科研用户提供专业的物料选型、核心器件供应以及系统方案支持

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            光通讯产品

            科研与工业产品

            技术方案产品

            绝缘体硅片
            所属类别:

            光通讯 >光源

            所属品牌:

            KST

            数据单下载
            产品简介

            KST公司利用独有的生长工艺,能够制备氧化层厚达20um的SOI(Silicon on Insulator)晶圆。除了常规的SOI晶圆之外,KST还可以根据客户要求制作具有腔体结构的SOI晶圆(Cavity SOI)。


            产品规格

            尺寸

            4inch 6inch 8inch

            活性层膜厚度

            100nm※~200μm

            面内厚度精度

            薄膜±15nm 厚膜±0.5μm

            BOX层厚度

            最大 20μm

             

            Thick-BOX? SOI晶圆的使用例

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            产品应用

            大规模集成电路/功率器件/MEMS器件/硅光集成

             

             

            原厂介绍

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            作为日本首家设计并加工半导体及光通信用硅晶圆以及膜产品的公司,KST株式会社依赖领先的热氧化技术可以为客户提供超厚氧化膜的晶圆产品,这些产品能够帮助客户开发新型光通信及MEMS器件,并能够极大的提升量产良率。


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