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            技术方案产品

            超厚热氧化层硅片
            所属类别:

            光通讯 >光源

            所属品牌:

            KST

            数据单下载
            产品简介

            产品特征
            超厚的热氧化层硅片:在平面光波导(AWG)制作过程中,处于最底层的SiO2膜被称之为Undercladding层,它对AWG的工艺良率有至关重要的影响。KST公司生产的超厚热氧化层硅片,由于具有优异的表面洁净措施以及稳定的薄膜质量,占据了全球AWG市场的最大份额。


            规格参数

            项目

            规格

            膜厚

            20um±5%(最大膜厚度)

            面内均一性

            ±0.5%

            面间均一性

            ±0.5%

            折射率(@1550nm)

            1.4458±0.0001

             

            标准品一览

            尺寸

            晶圓厚度

            熱氧化膜厚度

            4inch

            525um 1mm

            15um、20um

            6inch

            625um 675um 1mm

            15um、20um

            8inch

            725um

            15um、20um

            12inch

            775um

            15um

             

            折射率面内分布表面粗度資料

             图片29.png

            图片28.png


            原厂介绍

            图片24.png

             

            作为日本首家设计并加工半导体及光通信用硅晶圆以及膜产品的公司,KST株式会社依赖领先的热氧化技术可以为客户提供超厚氧化膜的晶圆产品,这些产品能够帮助客户开发新型光通信及MEMS器件,并能够极大的提升量产良率。

             

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